发布日期：2026-06-15 04:19 点击次数：146
本报记者 黄仕强
春末夏初，山城重庆的空气中已透着炽热。在华润微电子（重庆）有限公司的无尘车间里，该公司时代总监马荣耀身着防静电无尘服，站在一台高倍显微镜前，全神灌输地检查一派晶圆的微不雅结构……这亦然他16年来深耕功率半导体畛域最郑重的战场。
功率半导体，是电子开发的“腹黑”，小得手机充电器，大到工业电机驱动，它无处不在。10年前，我国近90%的功率半导体器件依赖入口，意味着国内厂商只可在结尾分一杯残羹，而信得过的时代壁垒像沿路铁幕横亘目前。这让马荣耀愈发坚贞“产业报国，时代自立”的信念。
如今，马荣耀已率领团队攻破多项中枢时代曲折，推动国产功率器件在新动力汽车、AI服务器、5G通讯、光伏等高端畛域终了畛域化行使。他说：“时代自立是一场莫得很是的马拉松，我将一直跑下去。”
马荣耀正在更变现实参数。受访者供图
在微米圭臬上“戴着桎梏舞蹈”
“时代落伍不是抽象的看法，是实确凿在的硬伤。”回忆起入职之初濒临的行业近况，马荣耀痛下决心：“中枢时代必须掌捏在我方手中。”
怀揣着这么的信念，马荣耀走上了时代解围之路。2017年，他启动主导硅基超结MOS时代研发，并牵头打造基于8英寸晶圆的多层外延超结MOSFET平台。
“平庸来说，即是给传统的硅芯片作念了一次‘结构整容’，让芯片同期具备耐压高和电阻小的双重特质。”马荣耀告诉记者，攻关的难度不错说是“在微米圭臬上‘戴着桎梏舞蹈’”。
马荣耀回忆，经过大量次现实，团队研制出一款高压居品，但可靠性测试的失败，像一盆冰水浇透了每个东谈主的心。
开运体育中国官网入口但马荣耀莫得退路。整理好神志后，他拉着团队成员把所少见据像剥洋葱不异摊开，一个智力一个智力地梳理。换念念路、试新路子，经过大量个不眠之夜，最终冲突了电荷均衡限制、走电流扼制等中枢时代。
历经多年攻坚，马荣耀率领团队开发出200V~1200V全系列超结MOS居品，并依托12吋晶圆产线，收效开发出详尽性能达到国际先进水平的新一代超结MOS时代平台，不仅填补了国内高端超结MOS器件的时代空缺，更终明显对海外左右居品的批量替代。
收尾2025年，该时代平台已央求国表里专利40余项，联系居品收效导入新动力汽车、5G通讯等高端市集，为我国电力电子产业升级提供了关节撑持。
闯过“八十一难”
要是说硅基超结MOS是“从0到1”的冲突，那么第三代半导体SiC（碳化硅）的产业化，AG真人国际厅(中国)官网则是一场漫长的转变“马拉松”。
2020年以来，第三代半导体渐渐成为全球半导体时代和产业新的竞争焦点。“华润微电子当作国度队的首要一员，一定要在市集竞争中霸占先机、作念出实绩。”带着这份为国铸“芯”的诚恳与担当，马荣耀带着团队在6英寸、8英寸产线上，启动了“马拉松式”的转变迭代。
“海外两年迭代一个时代平台，咱们硬是逼着我方一年迭代一次。”马荣耀说这话时，透着一股不屈输的狠劲。他评释，SiC器件结构策画、工艺集成及封装可靠性等每个智力齐是行业共性曲折。马荣耀感叹，他和团队的攻坚经过大致在暮夜里行船，只可靠常识储备和花样论去找糊涂的灯塔，并想方针闯过“八十一难”。
芯片策画推倒重来、沟槽栅工艺反复调参、高温可靠性从零建标……经过4年的攻坚克难，马荣耀率领团队从第二代追平国际水平，到如今第四代、第五代居品置身行业第一梯队，硬生生把“跟跑”变成“并跑”、局部“领跑”。目前，华润微电子的第三代半导体已批量行使于光伏逆变、充电桩、新动力汽车电驱。
此外，针对新动力汽车产业对高可靠性器件的要紧需求，马荣耀主导开发稳当AQG324措施的车规级功率模块，科罚了高温高压工况下的器件失效曲折，助力我国新动力汽车中枢零部件终了自主可控。
奏响“中国芯”强音
在共事眼中，马荣耀不仅是“时代标兵”，更是全球公认的“良师良一又”。近5年来，他率领的团队显显露多名时代主干，酿成了“研发—市集—行使”高效协同的良性发展边幅。
在马荣耀看来，“闭门觅句”难以奏响“中国芯”的强音，须借智借力，作念大产学研“一又友圈”。为此，他集合国内知名高校完成“功率MOS与高压集成芯片关节时代与行使”技俩，建设了功率MOS器件电荷均衡新表面，冲突了功率高压MOS集成耐压瓶颈，创建了三类具有国际先进水平的功率半导体制造量产工艺平台，为全球200余家企业提供了芯片制造服务，灵验升迁我国高端功率芯片的国际竞争力。
如今，马荣耀已先后荣获国度科学时代零散奖二等奖、世界五一就业奖章等多项盛誉。但在荣誉眼前，他想得更多的是改日。“要把超结芯片作念到国内率先，把碳化硅芯片鼓励到下一代，终了率先冲突。”马荣耀说。
谈及对工匠精神的阐发，马荣耀坚贞地说，开头用醉心直面问题AG真人国际厅，率领团队磨杵作针地攻克曲折，把每一个细节作念到镌脾琢肾。“咱们不仅仅在为企业创造价值，更是为国度作念孝敬”。
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